Yaygın olarak kullanılan parlatma tozları, florür, kuvars, kalsiyum, baryum, demir ve az miktarda diğer safsızlıklarla desteklenen nadir toprak elementlerinin bir karışımından elde edilir. 20. yüzyılın 60'larından 70'lerine kadar, parlatma tozunun hazırlama süreci ve üretim yöntemi nispeten yoğun araştırma sonuçları elde etti. Yaygın olarak kullanılan bir hazırlama süreci, nadir toprak zenginleştirmelerini katı halde kimyasal olarak değiştirerek bunları kararlı mekanik ve kimyasal özelliklere sahip bileşiklere dönüştürmektir. Nadir toprak oksit içeriği %40~70'tir (%30~65 oksit içerir) ve parçacık boyutu 1~4 mikrondur. Parlatma tozu nispeten ucuzdur, yüksek bir kesme oranına sahiptir ve yaygın olarak kullanılır. Esas olarak katot ışın tüplerinin, düz camların ve lenslerin parlatılmasında kullanılır. İkinci tip oksit bazlı parlatma tozu kimyasal çökeltme ile üretilir.
Nadir toprak çökeltisi, kararlı bir okside kalsine edilir ve ince bir toz haline getirilir. Genellikle %70~100 nadir toprak oksitleri içerir (%40~100 oksitler). Bu ürünün avantajı, bileşimin düzgün olması ve parçacık boyutu ve şekil tutarlılığının iyi olmasıdır, ancak esas olarak optik cam için kullanılır. Özel cam, yüksek seviyede parlatma tozu (yüzde 99'dan fazla oksit) kullanılarak parlatılır. Parçacık şekli ve sertliği düzgün, yüksek saflıkta, düzgün yüzey, kusur yok, kirlilik kirliliği yok. Genellikle hassas optik aletlerin, lazer kristallerinin ve yarı iletken bileşenlerin parlatılmasında kullanılır. Nadir toprak parlatma tozları için gereksinimler, benzer nadir toprak ürünlerinin gereksinimlerinden farklıdır. Parlatma tozları durumunda, kimyasal saflık için de gereksinimler olmasına rağmen, belirleyici faktör bu değil, belirleyici faktördür.
Bu nedenle, nadir toprak parlatma tozunun hazırlanması, parçacık boyutu, homojenlik, kristal özellikleri, sertlik, orantı vb. gibi belirli bir kimyasal içeriğe dayalı olarak gerekli fiziksel özelliklere sahip olmalıdır. Bu özellikler, çökeltme ve kalsinasyon dahil olmak üzere hazırlama işlemi sırasında ayarlanmalıdır.